Samsung Electronics lance la production en technologie 7 nm LPP en EUV
Samsung Electronics annonce qu’il a achevé toutes les étapes du développement et lancé la production de sa technologie 7LPP (Low Power Plus) 7 nm avec la technologie de lithographie par rayonnement ultraviolet extrême (EUV). Par rapport aux technologies FinFET en 10 nm précédentes, la technologie 7LPP de Samsung offre une augmentation de 40% du rendement de surface avec des performances supérieures de 20% ou une consommation inférieure de 50 %.
Le lancement en production de la 7LPP, offre aux clients la possibilité de créer une gamme complète de nouveaux produits qui repousseront les limites d’applications telles que la 5G, l’intelligence artificielle, les centres de données d’entreprise et l’hyperscale, l’IoT, l’automobile et les réseaux.
L’EUV utilise une lumière d’une longueur d’onde de 13,5 nm pour exposer les tranches de silicium, par opposition aux technologies classiques à immersion à laser à fluorure d’argon (ArF) qui ne peuvent atteindre que des longueurs d’onde de 193 nm et nécessitent de coûteux jeux de masques d’impression multiple. L’EUV permet d’utiliser un seul masque pour créer une couche sur une tranche de silicium quand l’ArF peut exiger jusqu’à 4 masques pour créer la même couche. La gravure 7LPP de Samsung peut donc réduire de près de 20% le nombre total de masques requis par la gravure sans EUV, autant d’économies de temps et d’argent.
Les améliorations de la lithographie EUV offrent également des performances accrues, une consommation inférieure et une surface réduite, tout en améliorant la productivité de la conception grâce à la réduction de la complexité des masques d’impression multiple. Par rapport aux technologies FinFET en 10 nm précédentes, la technologie 7LPP de Samsung ne se limite pas à une réduction sensible de la complexité de la gravure. Avec moins de couches et de meilleurs résultats, elle offre également une augmentation de 40% du rendement de surface avec des performances supérieures de 20% ou une consommation inférieure de 50%.
Samsung, qui a démarré la recherche et développement dans l’EUV dans les années 2000, a lancé la production en EUV dans son usine S3 à Hwaseong, en Corée. Evolution de la feuille de route technologique de Samsung Foundry, le lancement de la 7LPP offre aux clients des perspectives vers le 3 nm.
