Accord entre ASML et l’Imec sur les puces avancées et l’innovation durable
Cet accord sur cinq ans prévoit que l’ensemble du portefeuille d’équipements d’ASML soit installé dans la ligne pilote de l’Imec et dans la ligne pilote NanoIC financée par l’UE et la Flandre, avec un accent mis sur le développement de nœuds de gravure avancés et sur l’innovation durable.
Déjà partenaires de longue date, le spécialiste des équipements de production de semi-conducteurs ASML et l’institut de recherche belge Imec, viennent de signer un nouvel accord d’une durée de cinq ans avec le double objectif de développer des solutions qui font progresser l’industrie des semi-conducteurs et de mettre en œuvre des initiatives axées sur l’innovation durable.
L’accord prévoit que l’ensemble du portefeuille d’équipements d’ASML soit installé dans la ligne pilote de l’Imec et dans la ligne pilote NanoIC financée par l’UE et la Flandre, avec un accent mis sur le développement de nœuds de gravure avancés en exploitant les machines EUV (UV extrêmes) à ouverture numérique standard (0,33 NA) et à haute ouverture numérique (0,55 High NA) d’ASML, ainsi que ses équipements DUV (UV profonds) et de métrologie optique YieldStar et ses technologies HMI d’inspection à faisceau unique et multifaisceaux. Les efforts porteront également sur la photonique sur silicium, les mémoires et le packaging avancé.
Luc Van den hove, Pdg de l’Imec, et Christophe Fouquet, Pdg d’ASML – © ASML / Imec
« L’inclusion du portefeuille complet des produits d’ASML nous permettra d’étendre et de perfectionner davantage les capacités de notre ligne pilote, fournissant à l’ensemble de l’écosystème des semi-conducteurs l’infrastructure de R&D la plus avancée pour les nœuds de gravure de 2 nm et moins, afin de relever les défis des évolutions technologiques basées sur l’IA. Et étant donné que l’Imec met fortement l’accent sur l’innovation durable, le fait que cela soit explicitement inclus dans notre partenariat est une excellente chose », se félicite Luc Van den hove, Pdg de l’Imec.
L’investissement d’ASML dans le partenariat est complété par un financement mis à disposition par le Chips Joint Undertaking et le gouvernement flamand pour la réalisation de la ligne pilote NanoIC dans le cadre de la loi européenne sur les puces (European Chips Act) et par le gouvernement néerlandais en tant que projet important d’intérêt européen commun (IPCEI).
A noter qu’ASML et Imec disposent, depuis juin 2024, d’un laboratoire commun basé à Veldhoven, aux Pays-Bas, dédié à la lithographie EUV et à haute ouverture numérique (High NA) et aux nœuds de gravure de 2 nm et moins.
