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Étiquette : MEB

MEB pour la visualisation des défauts de photomasques

Advantest a dévoilé le le microscope électronique à balayage pour la visualisation des défauts (DR-SEM) E5620 destiné à l’examen et la classification des défauts de très petites tailles sur les photomasques actuels et les photomasques UV extrême de prochaine génération.

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