Zeiss ouvre un laboratoire pour repousser les limites des semiconducteurs
Ce laboratoire est dédié à l’analyse des défaillances physiques des semiconducteurs, au développement de matériaux et à l’amélioration du rendement des procédés de fabrication pour les circuits logiques et les mémoires avancées, les semiconducteurs de puissance, les Mems et l’encapsulation des puces.
Le division microscopie du groupe allemand Zeiss vient d’ouvrir à Dresde (Allemagne) le Zeiss Microscopy Semiconductor Applications Lab, un laboratoire qui ambitionne de repousser les limites des semiconducteurs grâce à ses équipements de pointe.
Hébergé dans le Zeiss Innovation Hub de Dresde, qui a ouvert ses portes en mai dernier, le nouveau laboratoire vise à instaurer une coopération étroite avec les clients et partenaires de l’industrie des semiconducteurs, dédiée à l’analyse des défaillances physiques des semiconducteurs, au développement de matériaux et à l’amélioration du rendement des procédés de fabrication pour les circuits logiques et les mémoires avancées, les semiconducteurs de puissance, les Mems, l’encapsulation des puces, etc.
© Zeiss
Pour ce faire, le laboratoire sera notamment équipé du Zeiss Crossbeam 550L (photo en bas de cet article), un microscope électronique à balayage et à faisceau d’ions focalisé (FIB-SEM, Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope) qui, selon l’Allemand, permet de relever les défis de l’analyse physique des semiconducteurs et de repousser les limites de l’analyse à l’échelle nanométrique. Le laboratoire travaillera également sur l’automatisation accrue des flux de travail de microscopie et des techniques avancées pour aider l’industrie des semiconducteurs à accélérer les procédés d’analyse et à rechercher des solutions aux problèmes les plus difficiles de la microélectronique.
C’est le troisième laboratoire de ce genre (et le premier en Europe) mis en place par Zeiss, après ceux récemment ouverts à Taïwan et en Corée du Sud. Situé dans le parc scientifique de Hsinchu, le laboratoire taïwanais a ouvert ses portes en juin dernier et propose un portefeuille complet de services pour répondre aux besoins de R&D et d’analyse des défaillances des semiconducteurs.
Implanté à Dongtan, en Corée du Sud, le troisième laboratoire met à disposition des acteurs du semiconducteur un portefeuille complet d’équipements optiques et électroniques, de microscopie à rayons X et de tomodensitométrie haute résolution, ainsi que d’instruments de métrologie 3D.
Zeiss précise que l’équipe de Dresde va collaborer étroitement avec ses homologues de Taïwan et de Corée pour partager les connaissances et les meilleures pratiques afin de répondre au mieux aux besoins de l’industrie des semiconducteurs.
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