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Commande d’une machine MBE de Riber par l’université de Montpellier

Commande d’une machine MBE de Riber par l’université de Montpellier

Riber, leader mondial des machines d’épitaxie par jets moléculaires, annonce la commande d’un système de recherche MBE automatique par un laboratoire de l’université de Montpellier.

Le groupe NanoMIR de l’Université de Montpellier, un spécialiste des matériaux semiconducteurs composés à base d’antimoniure, a commandé un système MBE de recherche multi-chambres entièrement automatique. L’acquisition de l’équipement a été financé par le Programme d’Investissements d’Avenir (PIA) géré par l’Agence Nationale de la Recherche.

Le système comprend deux chambres configurées pour la croissance MBE de composés contenant des antimoniures (III-Sb) et une troisième pour le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma à distance (RP-CVD) de SiGe. Pour optimiser le contrôle du processus, le système sera équipé du nouvel instrument EZ-CURVE de Riber, un outil de métrologie permettant un contrôle de précision in situ en temps réel et la caractérisation du processus de croissance par MBE. Ce système multi-chambres sera destiné au développement de nouveaux matériaux photoniques infrarouges III-V déposés sur des plaquettes de silicium et de nouvelles structures quantiques, domaines d’intérêt stratégique dans toute l’Europe.

« Cette nouvelle commande consolide la position sans équivoque de Riber en tant que leader mondial en équipements MBE destinés aux matériaux optoélectroniques contenant des antimoniures », commente Philippe Ley, président du directoire de Riber.

NanoMIR est un groupe de recherche de l’Institut d’Electronique et des Systèmes, un laboratoire de recherche de l’Université de Montpellier exploité conjointement par le CNRS (UMR 5214). NanoMIR est un leader mondial de la technologie III-Sb, c’est-à-dire la famille de composés III-V à base de GaSb, InAs, AlSb, InSb, leurs alliages et leurs hétérostructures. Depuis dix ans, le nanoMIR se concentre principalement sur le développement de dispositifs optoélectroniques (lasers et photodétecteurs).

Riber est le leader mondial d’équipement d’épitaxie par jets moléculaires (MBE). L’entreprise conçoit et fabrique des systèmes MBE ainsi que des évaporateurs destinés à l’industrie des semiconducteurs.

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