MEB pour la visualisation des défauts de photomasques
Advantest a dévoilé le le microscope électronique à balayage pour la visualisation des défauts (DR-SEM) E5620 destiné à l’examen et la classification des défauts de très petites tailles sur les photomasques actuels et les photomasques UV extrême de prochaine génération.
Principales caractéristiques :
- Matériaux supportés : photomasques de taille 6025
- Résolution spatiale : 2 nm
- Résolution d’énergie EDS (option) : 127 eV
- Capture d’image très stable et entièrement automatique
- Compatible avec les systèmes d’inspection de masques
- Option d’analyse de la composition élémentaire
- Option d’analyse des électrons diffusés
Fabricant : Advantest
Référence produit : E5620
