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Le Leti passe à la fabrication de mems sur tranches de 300 mm

Le Leti passe à la fabrication de mems sur tranches de 300 mm

Le CEA-Léti annonce avoir fabriqué des accéléromètres de type mems sur des tranches de 300 mm de diamètre, à ses yeux une première dans l’industrie qui ouvre la voie à une forte réduction des coûts de fabrication des mems.

leti-210915« Avec plus de 200 personnes impliqués dans la R&D en microsystème, le Léti est l’un des plus grands laboratoires de recherche au monde dans ce domaine et la démonstration que notre plateforme 200 mm pour les technologies mems est désormais compatible avec une fabrication sur tranche de 300 mm de diamètre constitue une opportunité fantastique pour réduire les coûts de production des mems », se félicite Marie-Noelle Semeria, directrice du Léti. La demande des mems va croissante pour les terminaux mobiles, mais également face à l’essor de l’Internet des objets.

Le Léti a développé le concept de M&NEMS, combinant des mems et des nanofils piézorésistifs pour réduire la taille des capteurs et améliorer les performances des capteurs multi-axes. Le concept de fabrication de capteurs inertiels du Léti permet de concevoir et de fabriquer des combo-capteurs, combinant sur une même puce des accéléromètres 3 axes, des gyroscopes 3 axes et des magnétomètres 3 axes.

Le concept M&NEMS du Léti, développé pour une fabrication sur tranches de 200 mm, est actuellement en cours de transfert chez un industriel dont l’identité ne fait guère de doute. La démonstration de cette technologie pour une production sur tranches de 300 mm donne des signes très encourageants, explique le laboratoire du CEA.

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