Wooptix installe son système de métrologie des wafers au CEA-Leti
Premier déploiement industriel du système de métrologie Phemet de l’Espagnol Wooptix, cette installation promet des mesures ultrarapides et à résolution subnanométrique de la forme et de la géométrie des tranches de silicium en vue d’approfondir la compréhension des procédés.
Wooptix, société espagnole à l’origine d’une technologie de métrologie innovante appliquée aux semi-conducteurs, a annoncé l’installation de son système Phemet au CEA-Leti de Grenoble le 4 mai 2026. Il s’agit du tout premier déploiement en conditions de production de cet outil de métrologie, mis en avant lors des CEA-Leti Innovation Days qui se sont tenus du 23 au 25 juin à Grenoble.
Lancé en novembre 2025, le système Phemet repose sur l’imagerie de phase du front d’onde (WFPI, wavefront phase imaging), une technique issue de l’optique adaptative développée pour l’astronomie, que Wooptix a transposée à la métrologie de semi-conducteurs. Ce procédé est censé offrir des mesures ultrarapides et à résolution subnanométrique de la forme et de la géométrie des tranches de silicium, répondant à la demande croissante de contrôle des procédés pour des dispositifs toujours plus petits et plus complexes.
Ce partenariat permettra de mener des travaux conjoints sur les signatures de procédés à l’échelle du wafer, la nanotopographie et la métrologie avancée des technologies d’encapsulation, directement dans un environnement de salle blanche industrielle compatible avec des tranches jusqu’à 300 mm de diamètre. Pour Wooptix, l’enjeu est de valider sa technologie en conditions réelles de production et d’explorer de nouveaux cas d’usage aux côtés d’acteurs de premier plan du secteur.
Sébastien Dauvé, directeur général du CEA Leti, et José Manuel Ramos, directeur général de Wooptix – @ UtopikPhoto/CEA
« Notre collaboration avec le CEA-Leti nous permettra de valider Phemet dans un environnement de salle blanche hautement contrôlé et de développer des applications concrètes face aux défis du développement de procédés, aux côtés d’acteurs majeurs du secteur », affirme José Manuel Ramos, directeur général de Wooptix. Ce projet renforce également la présence de l’entreprise espagnole à Grenoble où elle dispose déjà d’un bureau, en plus de ceux implantés à Tenerife et Madrid.
Du côté du CEA-Leti, Viorel Balan, chef de projet de la collaboration, précise les attentes : « En tirant parti de la plateforme Phemet, nous souhaitons approfondir notre compréhension des procédés, soutenir les initiatives de recherche menées dans le cadre des projets de l’Union européenne et accélérer le développement des technologies d’encapsulation avancées de nouvelle génération. »
Grace à des systèmes et algorithmes propriétaires, Wooptix revendique la résolution la plus haute et la vitesse de mesure la plus rapide disponibles pour les mesures en ligne dans ce domaine.
